EBR 晶圓洗邊劑

產品說明：
EBR（Edge Bead Remover）主要應用於半導體晶圓光阻塗佈製程，用於清除晶圓邊緣及部分背面殘留的多餘光阻。

產品優勢：
可降低晶圓邊緣光阻堆積，有助於維持製程潔淨度及後續加工穩定性。

產品特性：
具有良好的光阻溶解與清潔效果，可依不同光阻及製程條件提供相對應配方。

操作方式：
依半導體設備及製程參數進行晶圓邊緣清洗，實際流量、時間及使用條件應依製程規範設定。